純水不溶性顆粒計(jì)數(shù)器廠家

電子級(jí)超純水顆粒計(jì)數(shù)器

　　1.方案背景：超純水,，又稱UP水,，電阻率達(dá)到18MΩ*cm(25℃)的水。

　　常用于集成電路工業(yè)中用于半導(dǎo)體原材料和所用器皿的清洗,、光刻掩模版的制備和硅片氧化用的水汽源等,。此外，其他固態(tài)電子器件,、厚膜和薄膜電路,、印刷電路、真空管等的制作也都要使用超純水,。

　　2.方案目的：用液體顆粒計(jì)數(shù)器檢測(cè)超純水樣,，并判定超純水固態(tài)懸浮粒子的大小和數(shù)量。以此來判定超純水是否合格,。

　　3.檢測(cè)儀器： 液體顆粒計(jì)數(shù)器,，采用第八代雙激光窄光傳感器，雙精密計(jì)量泵研發(fā)而成,，是一種高精度,、高靈敏度的檢測(cè)儀器，能夠準(zhǔn)確測(cè)量超純水中的顆粒數(shù)量和大小,。采用優(yōu)良的光學(xué)技術(shù)和數(shù)據(jù)處理算法,，能夠快速、準(zhǔn)確地完成檢測(cè)任務(wù),。

　　4.檢測(cè)步驟：取200mL超純水水樣,；放置到儀器取樣位置；打開控制電腦,，操作軟件,；設(shè)置5秒鐘檢測(cè)一次；重復(fù)測(cè)樣4次,，取掉第一次檢測(cè)數(shù)據(jù),，取后3組數(shù)據(jù)平均值作為檢測(cè)結(jié)果；輸出數(shù)據(jù)結(jié)果,。

　　5.結(jié)果解讀與判定

　　通過液體顆粒計(jì)數(shù)器檢測(cè)得到的數(shù)據(jù),，可以直觀地反映超純水的純凈度。根據(jù)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)和企業(yè)要求,，可以對(duì)檢測(cè)結(jié)果進(jìn)行解讀和判定,，從而確定超純水是否滿足清洗晶圓的需求。

　　6.注意事項(xiàng)

　　在使用液體顆粒計(jì)數(shù)器進(jìn)行超純水檢測(cè)時(shí),，需要注意以下幾點(diǎn)：

　　首先,，要確保儀器的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性，定期進(jìn)行校準(zhǔn)和維護(hù),；

　　其次,，要遵循正確的操作流程,，避免誤操作和誤差的產(chǎn)生；

　　最后,，要及時(shí)記錄和分析檢測(cè)結(jié)果,，以便及時(shí)發(fā)現(xiàn)問題并采取相應(yīng)的措施。

　　7.定期監(jiān)測(cè)與評(píng)估

　　為了保障超純水質(zhì)量的持續(xù)穩(wěn)定,，需要定期對(duì)超純水進(jìn)行監(jiān)測(cè)和評(píng)估,。通過定期使用液體顆粒計(jì)數(shù)器進(jìn)行檢測(cè)，可以及時(shí)發(fā)現(xiàn)并解決潛在問題,。

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